電子高科製程廢氣濕式處理系統
Wet Scrubber System for Electronic / Semiconductor Plants & High Technical Processes
- 精確的工業通風設計
- 流速平衡法/風門平衡法靈活運用
可處理廢氣種類：
SO3、NOX、HF、HCl、VOC、HBr、CrO3、NH3、H3PO4、FeCl3
可搭配使用設備：
- 烙鐵燻煙集塵器
- VOC活性炭吸附裝置
- 鑽孔機、撈板機用真空集塵機
- RTO蓄熱燃燒式VOC處理設備
- 中央清掃集塵系統
