電子高科製程廢氣濕式處理系統

Wet Scrubber System for Electronic / Semiconductor Plants & High Technical Processes

  • 精確的工業通風設計
  • 流速平衡法/風門平衡法靈活運用
可處理廢氣種類:
  • SO3、NOX、HF、HCl、VOC、HBr、CrO3、NH3、H3PO4、FeCl3

可搭配使用設備:
  • 烙鐵燻煙集塵器
  • VOC活性炭吸附裝置
  • 鑽孔機、撈板機用真空集塵機
  • RTO蓄熱燃燒式VOC處理設備
  • 中央清掃集塵系統